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MEMS壓力傳感器運(yùn)用原理知識(shí)
發(fā)布者:現(xiàn)代豪方科技 發(fā)布時(shí)間:2011-1-4 【字體: 】 [打印]

MEMS壓力傳感器原理: 目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機(jī)電傳感器。 硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的,具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗,極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器,如無壓力變化,其輸出為零,幾乎不耗電。
      MEMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁,采用MEMS技術(shù)直接將四個(gè)高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力最大處,組成惠斯頓測(cè)量電橋,作為力電變換測(cè)量電路,將壓力這個(gè)物理量直接變換成電量,其測(cè)量精度能達(dá)0.01%~0.03%FS。上下二層是玻璃體,中間是硅片,硅片中部做成一應(yīng)力杯,其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔,使之成為一個(gè)典型的絕壓壓力傳感器。應(yīng)力硅薄膜與真空腔接觸這一面經(jīng)光刻生成的電阻應(yīng)變片電橋電路。當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進(jìn)入傳感器應(yīng)力杯中,應(yīng)力硅薄膜會(huì)因受外力作用而微微向上鼓起,發(fā)生彈性變形,四個(gè)電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化,破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡,產(chǎn)生電橋輸出與壓力成正比的電壓信號(hào)。

電容式壓力傳感器利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀,上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器,上橫隔柵受壓力作用向下位移,改變了上下二根橫隔柵的間距,也就改變了板間電容量的大小,即△壓力=△電容量。
MEMS壓力傳感器的應(yīng)用  MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝,進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡(jiǎn)單易用和智能化。傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬?gòu)椥泽w受力變形,由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出,因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小,成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器,MEMS壓力傳感器的尺寸更小,最大的不超過1cm,使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。 MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子:如TPMS(輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng))、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機(jī)共軌壓力傳感器;消費(fèi)電子,如胎壓計(jì)、血壓計(jì)、櫥用秤、健康秤,洗衣機(jī)、洗碗機(jī)、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器、洗衣機(jī)、飲水機(jī)、洗碗機(jī)、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器工業(yè)電子,如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。 壓力傳感器通常專指是非標(biāo)準(zhǔn) mV 信號(hào)輸出的元件級(jí)產(chǎn)品,是壓力變送器的核心元件,由于信號(hào) 的非標(biāo)準(zhǔn)性,用戶使用時(shí)需要進(jìn)行壓力標(biāo)定和設(shè)計(jì)專門的信號(hào)處理電路;由于信號(hào)微弱,距離較長(zhǎng)時(shí)需要增加放大器 ;  
      壓力變送器從書面意義上也屬于壓力傳感器 ,但是其輸出信號(hào)為標(biāo)準(zhǔn)通用 的信號(hào),如 4~20mA , 1~5V 等,可以遠(yuǎn)距離傳送,并且可以與標(biāo)準(zhǔn)儀表配套。同時(shí)其壓力值已經(jīng)進(jìn)行過標(biāo)定,用戶只需通過儀表的量程設(shè)定即可使用。 
       現(xiàn)在人們說的傳感器是由兩部分組成的,即分別是敏感元件和轉(zhuǎn)換元件。其中敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心軌蛑苯痈惺芑蝽憫?yīng)被測(cè)量的部分;轉(zhuǎn)換元件是指?jìng)鞲衅髦袑⒚舾性惺芑蝽憫?yīng)的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成適于傳輸或測(cè)量的電信號(hào)部分。由于傳感器的輸出信號(hào)一般很微弱,需要將其調(diào)制與放大。隨著集成技術(shù)的發(fā)展,人們又將這部分電路及電源等電路也一起裝在傳感器內(nèi)部。這樣,傳感器就可以輸出便于處理,傳輸?shù)目捎眯盘?hào)了。  
      而在以前技術(shù)相對(duì)落后時(shí),所謂的傳感器是指上文中的敏感元件,而變送器就是上文中的轉(zhuǎn)換元件。 變送器的種類很多,用在工控儀表上面的變送器主要有溫度變送器,壓力變送器,流量變送器,電流變送器,電壓變送器等在現(xiàn)代豪方傳感器之家是熱門產(chǎn)品,其報(bào)價(jià)以及產(chǎn)品技術(shù)資料!


 
 
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